（1）工业制氧气是根据空气中液氧和液氮的沸点不同，此过程没有新物质生成，属于物理变化；
$(2)$由题干表格中的数据可知，氮气的沸点低于氧气的沸点，所以液态空气在蒸发时，首先蒸发出来的是氮气；
$(3)A$、二氧化碳是空气的成分之一，不属于空气污染物，不符合题意；
$B$、可吸入颗粒物是一种空气污染物，符合题意；
$C$、一氧化碳有毒，是一种空气污染物，符合题意；
$D$.、稀有气体是空气的成分之一，不属于空气污染物，不符合题意；
故答案为：（1）物理；
$(2)$氮气；
$(3)BC$。

（1）工业制氧气是根据空气中液氧和液氮的沸点不同，此过程没有新物质生成，属于物理变化；
$(2)$由题干表格中的数据可知，氮气的沸点低于氧气的沸点，所以液态空气在蒸发时，首先蒸发出来的是氮气；
$(3)A$、二氧化碳是空气的成分之一，不属于空气污染物，不符合题意；
$B$、可吸入颗粒物是一种空气污染物，符合题意；
$C$、一氧化碳有毒，是一种空气污染物，符合题意；
$D$.、稀有气体是空气的成分之一，不属于空气污染物，不符合题意；
故答案为：（1）物理；
$(2)$氮气；
$(3)BC$。