"太阳能光伏发电"能有效推进"碳中和",发展"低碳经济",其关键的材料是高纯硅.如图是高纯硅制取的主要流程.

$(1)$已知石英砂的主要成分是二氧化硅,流程①发生的主要反应是置换反应,同时还生成一种有毒气体,该气体的化学式为______.
$(2)$"精馏"是蒸馏的一种,其原理是利用混合物各成分的______不同,将物质分离出来.
$(3)$上述流程中可循环使用的物质有______$(填物质化学式)$.
$(4)$流程⑤中发生反应的化学方程式为______.