题目NF3NF_{3}NF3进行硅(Si)\left(Si\right)(Si)芯片蚀刻时在表面不留任何残留物.该反应的微观示意图如下,下列说法正确的是（ ）A.丙物质的化学式为CH4CH_{4}CH4B.参加反应的NF3NF_{3}NF3和SiSiSi的质量比为4:34:34:3C.该反应属于置换反应D.反应前后分子种类不变知识点：化学方程式的配平章节：物质的化学变化 / 质量守恒定律
